MAHR粗糙度儀通常是由傳感器、驅動器、指零表、記錄器和電感傳感器等部件組成，在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針，觸針尖曲率半徑r很小，測量時將觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅動器以一定的速度拖動傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時，將產生上下移動。此運動經支點使磁芯同步地上下運動，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發生變化。